MEMS significa sistema microelectromecánico y se aplica a cualquier sensor fabricado mediante técnicas de fabricación microelectrónica. Estas técnicas crean estructuras de detección mecánica de tamaño microscópico, típicamente en silicio. Cuando se combinan con circuitos microelectrónicos, los sensores MEMS se pueden usar para medir parámetros físicos como la aceleración. A diferencia de los sensores ICP, los sensores MEMS miden frecuencias de hasta 0 Hz (aceleración estática o CC).

Los acelerómetros MEMS piezorresistivos (PR) son dispositivos de mayor rango y baja sensibilidad que se utilizan en aplicaciones de choque y explosión. Los acelerómetros PR formados por galgas extensométricas en una disposición de puente de Wheatstone consisten en un conjunto monolítico resistente con resistencias MEMS de estado sólido que cambian de resistencia en proporción a la tensión mecánica aplicada.

Los acelerómetros de choque piezorresistivos, fabricados con tecnología MEMS, tienen un bajo consumo de energía y, al mismo tiempo, proporcionan una salida de escala completa a niveles de aceleración superiores a 50 kg’s. Los acelerómetros son eléctricamente compatibles con el mismo tipo de circuito de 4 hilos que se utiliza para acondicionar un puente completo de galgas extensométricas y, dado que tienen una salida mucho mayor en comparación con una galga extensométrica, el requisito de amplificación de la señal se reduce considerablemente. Ofrecen un rango de temperatura de funcionamiento más amplio en comparación con los acelerómetros ICP aislados mecánicamente. Su respuesta de frecuencia, dependiendo del modelo, puede ser uniforme desde DC (0 Hz) hasta valores tan altos como 100 kHz. Para disminuir la severidad de la respuesta cuando se excita su frecuencia de resonancia. Estos valores de amortiguación son mucho más altos que los que se encuentran en los acelerómetros estandar. Dado que el silicio es un material quebradizo, también se incorporan topes de rango superior para minimizar la rotura del elemento sensor, y luego se sella dentro de un paquete hermético. En niveles G, la tecnología MEMS PR permite alcanzar el tamaño más pequeño para acelerómetros individuales.

Características destacadas: Los acelerómetros PR tienen una respuesta en DC que los hace útiles para medir en larga duración, por lo tanto, sus salidas de aceleración pueden integrarse para obtener velocidad y desplazamiento con precisión. Exhiben una alta sensibilidad con una excelente relación señal-ruido y una estabilidad excepcional. La simplicidad y el tamaño en miniatura del elemento MEMS PR se prestan a diseños de ancho de banda amplio (> 100.000 Hz) y de rango dinámico amplio (> 100.000 g). Elementos resistivos micromecanizados. Carcasas de titanio o aluminio.

Aplicaciones: Crash test, impacto de metal a metal y Pyroshock, ensayos de lanzamiento de cohetes, prueba de caída de productos electrónicos de consumo, pruebas de artículos deportivos y herramientas de impacto, carga explosiva y capacidad de supervivencia de estructuras.